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SN-ZK-05D

5L小型真空等离子清洗机
真空等离子表面处理机、大气常压(直喷式、旋转式)等离子表面处理设备等产品的研发与制造。等离子表面处理几乎可用于所有材料,包括金属、玻璃、塑料、纺织品、复合材料等。从汽车制造、航空航天、塑料橡胶、纺织印染到光电光学、半导体和PCB&FPCB领域
Parameter

规格参数

品牌ShenNa·深那产品型号SN-ZK-05D
主机尺寸550*600*500mm真空计1*10-2-1*105
腔体容量约5L腔体尺寸Φ150*D260mm
操作系统PLC系统+7寸人机界面控制模式手动或自动
频率40KHz功率200W
13.56MHz100W
气体接口I.D 4mm,O.D 6mm极限真空度20Pa或更低
流量计2通道浮子流量计电源220V/8A
工艺气体氧气、氮气、氩气、氢气或混合气体
配套附件真空泵1台(干泵或油泵)、波纹管1条


Particulars

产品详情

功能特点:
1、先进的放电技术,特殊结构的放电装置,保障设备高耐用性;
2、优质等离子射频电源,确保产生密度高且均匀的等离子体,达到出众的表面处理效果;
3、采用高精度流量计调节气体,实现对气体流量的精准控制和监测;
4、PLC+人机界面控制,手动、自动两种模式可选;
5、各项参数灵活设置,可根据实际需求设定不同的处理工艺;
6、具有故障报警、工艺存储、过载、一键急停等多种功能;
7、操作简单,作业员一般只需要几分钟即可熟练操作。

应用范围:
半导体表面涂胶前处理;晶圆去光刻胶;去除有机污染物;封装前表面活化
PCB/FPC孔壁除胶、去除干膜残余物、表面活化
DC混合电路去除银芯片硫化物、厚膜基板导带上有机污染物、外壳表面氧化层以及提高盖板浸润性、陶瓷材料表面活性、铝丝与焊盘扩散性
光学镜头、显示屏、彩管玻璃等清洗
硅胶、塑料、橡胶及聚合物的表面活化、粗化
高校、科研机构进行新材料开发、表面分析、考古、新型基材实验

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